ISNE 100-Team NanoTec的针尖表征样品—超小锐利的边缘以及陡坡的表征
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产品描述

      ● 探针针尖检测样品是用于检查针尖的形状和尺寸。

      ● 每个空室都有编号,有助于在相同的位置进行校准。

      ● Layout: 88 cells ; on 1 x 1 mm area, on 6 x 6 mm silicon chip

      ● IVPS100是一个针尖半径和角度表征的样品。

   


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产品所属品牌


www.team-nanotec.de

Specifications:

 

Pitch standard

Array of  5 silicon lines with vertical, paralell sidewalls (111-crystal planes)

Linewidth:

100 nm (actual linewidth is delivered for each chip)

Pitch:

500nm ± 10 nm

Depth:

~900 nm

Surface/siderwall angle:

<90° ± 0.5°

Sidewall parallelityL

<1°

Toy corner radius

<10 nm

Well suited also as SEM standard



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IVPS 100

1

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